碳化硅晶圆表面打磨，用MSIY自动换刀浮动主轴

日期：2025-04-30 19:19

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摘要：3060AQC自动换刀浮动主轴，除了可以实现气动换刀之外，还可以实现径向、轴向双向浮动，浮动力可调节，可防止过度打磨的情况发生，有利于保持产品良好的光洁度。

碳化硅晶圆表面打磨，用MSIY自动换刀浮动主轴

碳化硅晶圆表面打磨抛光，机械臂加装中西NAKANISHI自动换刀主轴NR3060-AQC搭配MSIY浮动刀柄，功率350W，转速6万转每分钟，旋转跳动精度1μm以内，可实现径向轴向双向打磨。

如图所示，碳化硅晶圆表面打磨，用人工去除效率低，成本高，若采用自动化方式，一能节省成本，二能提高产品的良品率。这款3060AQC自动换刀浮动主轴是目前在机械臂去毛刺领域比较受欢迎的浮动打磨主轴。

3060AQC自动换刀浮动主轴，除了可以实现气动换刀之外，还可以实现径向、轴向双向浮动，浮动力可调节，可防止过度打磨的情况发生，有利于保持产品良好的光洁度。