产品名称：半导体磨边机晶圆切割气浮主轴 ABT-1000

半导体磨边机晶圆切割气浮主轴 ABT-1000 

ABT-1000是一款专为半导体晶圆精密磨边与切割设计的高性能气浮主轴，采用先进空气轴承技术，实现无接触、零摩擦运转，确保超高转速（*高可达100,000 RPM）下的加工精度。主轴具备**的动态刚度和热稳定性，有效减少振动与热变形，适用于碳化硅（SiC）、硅晶圆等硬脆材料的超精密加工。内置智能温控系统，配合低噪音、长寿命设计，显著提升设备可靠性与晶圆边缘质量。

气浮主轴ABT-1000产品参数

    种类：气动涡轮式主轴

    外径：φ40mm

    *高转速：100,000转/分钟

    主轴跳动精度：1μm以内

    输出功率：88W

    重量：820g

    轴承气压：0.55MPa （空气消耗量：50Nm3/min）

    涡轮空气压力0.55MPa （空气消耗量：135Nm3/min）

    轴承许用载荷能力

    径向：20N 或更小

    推力：35N 或更小

    筒夹（CHA组）：φ0.5~φ4.0mm

    夹头螺母： (CHN-3A)

    转速检测方式

    内置磁传感器（输出信号：1 脉冲/转）

    供气管

    供气（涡轮机）：φ6mm x 2 供气

    （空气轴承）：φ6mm

ABT-1000半导体磨边机晶圆切割气浮主轴特点

1、超高精度气浮轴承：采用非接触式空气轴承技术，消除机械摩擦，确保微米级加工精度，延长使用寿命。
2、高转速稳定运行：*高转速达100,000 RPM，动态刚度优异，适用于超精密晶圆切割与磨边。
3、优异热稳定性：内置智能温控系统，有效抑制热变形，保障长时间加工稳定性。
4、低振动低噪音：优化气浮结构，大幅降低振动与噪音，提升晶圆边缘加工质量。
5、广泛材料适应性：适用于硅（Si）、碳化硅（SiC）、砷化镓（GaAs）等硬脆材料的精密加工。
6、高效节能设计：优化气路系统，降低能耗，同时保持高性能输出。
7、智能监测与维护：支持实时状态监测，便于预测性维护，提高设备可靠性与生产效率。