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晶圓劃片機切割主軸，選中西nakanishi氣浮主軸ABT-100
日期：2026-08-29 03:05
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摘要：<p>
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Nakanishi中西ABT-100氣浮主軸憑借10萬轉超高轉速和微米級精度，成為晶圓劃片機和微孔加工的核心部件。其非接觸式氣浮軸承設計消除摩擦損耗，確保切割矽片時崩邊＜5μm，適用於8/12英寸晶圓超薄切割（100μm以下）。在微孔加工領域，0.1mm以下鑽頭配合主軸±0.1μm徑向跳動，可實現PCB板50μm孔徑加工，且刀具壽命提升3倍。主軸內置智能溫控係統，24小時連續工作溫差控製在±0.5℃，滿足半導體行業對加工穩定性的嚴苛要求。
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Nakanishi中西ABT-100氣浮主軸憑借10萬轉超高轉速和微米級精度，成為晶圓劃片機和微孔加工的核心部件。其非接觸式氣浮軸承設計消除摩擦損耗，確保切割矽片時崩邊＜5μm，適用於8/12英寸晶圓超薄切割（100μm以下）。在微孔加工領域，0.1mm以下鑽頭配合主軸±0.1μm徑向跳動，可實現PCB板50μm孔徑加工，且刀具壽命提升3倍。主軸內置智能溫控係統，24小時連續工作溫差控製在±0.5℃，滿足半導體行業對加工穩定性的嚴苛要求。
